Archivo:Wafer flats convention v2.svg

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Resumen

Descripción

Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG

Conventional meaning of flats in semiconductor wafers. Red denotes material that has been removed.

Wafer orientation is the orientation of the crystallographic plane in which the crystal grew. Wafer type indicated the type of doping.
Primary flat - indicates crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face).
Secondary flat - it's position relative to Primary flat or it's absence is indicating the doping type and the orientation of wafer.

  • Absence - p {111}
  • 90° - p {100}
  • 180° - n {100}
  • 45° - n {111}
Wafers under 200mm generally have flats indicating crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face) and, in old-fashined wafers (those below about 100mm diameter), the wafer's orientation and doping type. Modern wafers use a notch to convey this information, in order to waste less material. Orientation is important for wafer cleavage, and can affect other structural and electronic properties as well.
Fecha
Fuente

self-made,

 
Este gráfico vectorial, sin especificar según el W3C, fue creado con Inkscape .
Autor Twisp
Otras versiones Wafer flats convention.PNG

Licencia

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actual21:40 24 sep 2013Miniatura de la versión del 21:40 24 sep 2013150 × 150 (13 kB)Cepheidenfixed position of secondary flat Silicon processing for the VLSI era - Vol. 1 - Process technology; S Wolf; RN Tauber - Lattice Press; 1986; ISBN 096167237; p. 23
00:37 23 dic 2008Miniatura de la versión del 00:37 23 dic 2008150 × 150 (13 kB)InductiveloadAdded arrow indication <110> direction and enlarged flats so they can be easily seen
21:17 29 feb 2008Miniatura de la versión del 21:17 29 feb 2008150 × 150 (9 kB)Twisp
21:13 29 feb 2008Miniatura de la versión del 21:13 29 feb 2008150 × 150 (9 kB)Twisp
21:06 29 feb 2008Miniatura de la versión del 21:06 29 feb 2008150 × 150 (8 kB)Twisp
20:59 29 feb 2008Miniatura de la versión del 20:59 29 feb 2008150 × 150 (8 kB)Twisp
18:09 29 feb 2008Miniatura de la versión del 18:09 29 feb 2008150 × 150 (9 kB)Twisp{{Information |Description= Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG Conventional meaning of ''flats'' in semiconductor wafers. Black denotes material that has been removed. Wafer orientation is

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